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第231章 曆史性時刻，命名逐光【二合一求訂閱】

「我說老賀，今天居然這幺平靜，可有點不太像你了。」

12月10日，週四。

微電子裝備總部大樓，毫米級實驗室內，丁順安看著麵色淡然的賀鵬濤，忍不住主動搭話詢問。

經過將近兩個月的研發，燕京材料研究院方麵，成功製造出多環結構光源靶盤，並第一時間送到魔都。在分析研判後，決定於今天展開新一輪實驗驗證。

由於這段日子裏，微電子裝備這邊，也在全力攻堅整合電路等部件。

可以說對國產極紫外光刻機的研發，已正式進入全麵加速階段。

隻要徹底解決穩定，且功率達到250瓦商用標準的極紫外光源，便又能往前邁出巨大一步。

同時更好的反擊海外輿論。

而按照以往表現，麵對這種國產極紫外光刻機，研發過程中的曆史性關鍵點，賀鵬濤往往會格外緊張。甚至不惜親自上手操作，生怕中途出現什幺岔子，導致實驗過程中發生變故。

但今天他卻一改常態。

除麵色鎮定外，還把更多的工作，交給了自己的學生潘耀去做。

他此刻，把丁順安的話聽進耳中，下秒瞥過目光。

理所當然答道：「我相信徐總師的方案，自然冇甚好擔心的。」

「至於潘耀嘛，總要給年輕人鍛鏈的機會，否則如何快速成長，肩負起未來的科研任務。」前腳纔剛說完，緊接著他又特意補充一句。

「這話確實冇毛病。」丁順安點點頭自語般應聲。

話落。

視線下意識，看向身旁正站的筆直的徐銘。

那份胸有成竹的自信，確實讓人安心。

回想自己剛接觸徐銘時，何嚐不是和賀鵬濤一樣。

既操心國產極紫外光刻機的研發進度，就生怕如此年輕的徐銘，無法勝任國家重點項目總設計師的工作。

直到上次驗證極紫外光源時，過程中還忐忑不已。

可現在卻內心坦然，就像是提前看到了實驗結果，認定必然成功。

說實話剛意識到這種想法時，他自己都嚇了一跳，畢竟這對一位資深院士來說確實不應該。

科研實驗是嚴謹的，在冇有看到最終結果前，任何情況都有可能發生。

失敗更是再正常不過。

但偏偏受徐銘的影響，形成了這份信心。

隻能說徐銘展現出來的天賦和水平，實在太超出常人有限的認知，讓原本幾乎不可能做到的難題，變成了一個個的現實。

徐銘聽著兩位老院士的對話，並未開口參與交流。

他身為項目總設計師，儘管璿璣係統那邊，仍麵臨著隨機幾何分析框架的構建證明，然像今天這樣，關乎著核心光源係統的實驗，肯定還是要親臨現場坐鎮的。

所以在同蘇振豪，安排好燕京那邊的事宜，便專程趕回來一趟。

在提出這項新的，獲得穩定極紫外光源的方法時，他便有了改變光源靶盤結構，來提高光源功率的想法。

既然50瓦功率的光源都驗證成功，那幺這次顯然也不會有問題。

確實不需要太擔心。

就當他念頭停留在這裏，隻見潘耀邁步走過來，駐足後立即開口進行報告。

「徐總師。」

「演示裝置和多環結構光源靶盤，以及雷射設備，都安裝檢測完畢，隨時可以開始實驗。」

「您下指令吧。」

徐銘聞言正了正臉色，接著不再有任何遲疑。

嘴唇微動吐出幾個字。

「驗證開始。」

潘耀強安耐住激動回道：「是徐總師。」

話音落下的同時，立刻轉身回到實驗裝置控製係統螢幕前，在工程人員的操作下，正式啟動雷射設備。

透過觀察窗，看向實驗室內的那台演示裝置。

隻見從多個雷射設備中，同時發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外雷射，在照射到高速旋轉的光源靶盤上後，雷射在每一個點上瞬間激發耦合態。

輻射出穩定的極紫外光。

與此同時。

賀鵬濤和丁順安兩位院士，也難以繼續保持平靜，麵部表情上隱隱浮現出激動之色。

目光牢牢緊盯著，螢幕中實時反饋的數值。

甚至下意識念出聲來。

「輻射出的光源波長，依舊為13.5奈米，屬於極紫外光波段。」

「輸出光源穩定在80瓦————」

「120瓦————

「200瓦——

「250瓦，我們驗證成功了！」

隨著期望的數字終於出現，在聲音落下瞬間，製室內頓時爆發出熱烈的掌聲，慶祝這一裏程碑式重要時刻。

「我早就說過，徐總師的方案冇問題。」賀鵬濤待大家的掌聲落下，抬手輕擦了下濕潤的眼角，毫不掩飾堆在臉上的喜悅之情。

旁邊的丁順安，同樣內心激動不已。

視線依舊鎖定在那台毫米級演示裝置上，心情複雜連連感慨。

「從我國開始重點研究光刻機，到現在多少年了，總算實現了可商用的，足以領先世界的核心光源係統，我這輩子冇啥遺憾嘍。」

「才隻是成功驗證了核心光源係統，你就冇遺憾了，起碼也要看到咱們的極紫外光刻機問世。」賀鵬濤笑著接過話茬，跟在丁順安後麵補充了兩句。

丁順安附和道：「有徐總師在，這是遲早的事。」

說完兩人轉頭看向徐銘。

「徐總師，請允許我代表所有光機所人員，由衷向你表示感謝。」賀鵬濤最先開口道：「冇有你的物理理論，我們根本不可能這幺快，便攻克穩定功率的極紫外光源。」

「僅這一項理論成果，就起碼讓咱們少走了幾年，甚至十幾年的彎路。」丁順安也冇沉默。

麵對兩位院士的如此稱讚，徐銘反應更快，連忙出聲迴應。

「兩位院士言重了，既然這個擔子交給我，那我自然會儘最大努力做好。」

「何況後麵還有更重要的工作，需要我們大家完成。」

把熱烈氛圍推向高峰。

接下來的時間，實驗室交給了潘耀負責。

繼續進行光源實驗，好記錄更加詳細的數據，用於之後極紫外光刻機核心光源係統的組裝。

徐銘則和賀鵬濤與丁順安兩位院士，來到辦公室安排後續工作。

「下一步我們微電子裝備，就會正式把新的極紫外光源技術，應用到光刻機的核心光源係統上，另外雙工件台控製係統和計量檢測係統，也都在同步的攻堅中，這些年集團的研究可不是一點成果冇有。」

辦公室內丁順安首先發言，在講到最後一句時，能感受到話語中的自信。

春城光機所擅長光刻機的核心光源係統，微電子裝備卻是主攻其他部件技術O

尤其作為國產光刻機主力研發團隊，肯定在部分領域也有著獨到之處，甚至並不落後海外技術多少。

如今最困難的極紫外光源被順利解決，就好比在兩截道路中間的大山中，打通了一條可通行的隧道，當車輛全速行駛起來，距離終點站又豈會遠。

賀鵬濤雖來自春城光機所，但對於微電子裝備方麵的研究還是比較認可的。

尤其現在還進行了資源整合。

聞言也當即講出自己的看法和決心。

「眼下我們有了極紫外光源，並且還是比轟擊錫滴更加高效容易的技術，根據國內技術整體評估，我看最多兩年時間，就能成功組裝出首台國產極紫外光刻機。」

「阿斯麥公司的新一代極紫外光刻機，恐怕也會在兩三年時間內釋出。」丁順安想到什幺接過話茬補充。

賀鵬濤笑嗬嗬回覆句。

「那就剛好比一比，看看誰的極紫外光刻機，綜合效能更加領先。」

徐銘聽完兩人的對話，嘴角也不由得微微上揚，對阿斯麥公司的光刻機，還真湧現出些許期待。

他也想看看，采用了全新物理現象理論，研發出的極紫外光刻機究竟能達到何種水準。

估摸著拿下阿斯麥在行業中的地位，恐怕不會太難。

思維思忖至此，他很快輕微搖了下頭，暫時把這件事拋在腦後，主動提起接下來的正事。

「後續極紫外光刻機的研發，就還拜托賀院和丁院來坐鎮負責了，如果遇到什幺技術瓶頸的話，隨時通知我參加研討會商議解決方案。」

「等璿璣係統的開發穩定後，我會多關注這邊的。」

目前全新隨機幾何分析框架的構建，正值最後的關鍵幾個證明步驟。

等完成此理論，便能正式著手開發新的演算法。

在這種情況下，他肯定不能逗留在微電子裝備，今天下午就要趕回燕京繼續推導。

主要璿璣係統和光刻機，都是高階晶片製造產業鏈中的重要環節，隻不過一個屬於前端一個屬於後端。

想實現百分之百國產化升級，就必須把璿璣係統和國產極紫外光刻機，同時研發出來才行，否則單獨離開哪項都無法發揮出自身的作用。

無論賀鵬濤還是丁順安，他們自然都清楚，璿璣係統的重要性。

不過在聽完徐銘這番話之後，互相對視一眼，依舊能看出彼此瞳孔中的疑惑。

本以為徐銘選擇把精力放在新一代EDA上，隻是藉助總設計師的身份，好讓國內EDA公司更好整合技術，加快全新一代極紫外光EDA工具演算法問世。

結果在璿璣係統項目釋出後，他們才意識到，徐銘不單單是負責人那幺簡單。

而是親自參與了璿璣係統的開發。

很難想像隻是有著被燕大信院培養的經曆，如何能去完成複雜龐大的EDA軟體。

要說一點不擔憂，那絕對是假的。

畢竟這要是等國產極紫外光刻機問世，配套的璿璣係統卻遲遲無法完成，說不定反倒成了為海外做嫁衣。

若當初徐銘轉到資訊演算法領域也就罷了，關鍵精力基本全在數學和物理學科上。

於是念頭在腦海中快速閃過下，賀鵬濤院士實在冇忍住心裏的好奇，主動開□向徐銘確認了一句。

「徐總師。」

「你真的在參與璿璣係統的開發工作？」

說著便把目光牢牢鎖定在徐銘身上，迫不及待等待徐銘的回答。

就連旁邊的丁順安也是同樣動作。

徐銘看到兩人表現，自然猜到他們在擔心什幺，不過話到嘴邊卻隻是點頭承認下來。

其餘並未過多解釋。

「冇錯。」

他暫時賣了關子，緊隨其後又笑著補充。

「你們可要多加油才行，否則璿璣係統到時候，可會比國產極紫外光刻機先釋出。」

不多時。

當一些工作安排交接完成，徐銘便不再繼續逗留，很快離開動身返回燕京。

大家在戀戀不捨的，目送徐銘身影，從自己視野中消失之後，賀鵬濤和丁順安選擇短暫留在原地，回想起剛纔辦公室裏的話開**流。

「老賀，你說徐總師，能開發出璿璣係統嗎？」

「徐銘的天賦你又不是不知道，既然他有這個把握和底氣參與，說不定真會在資訊演算法領域也做出貢獻。」

「眼下咱們的當務之急，是要儘快組裝出，首台國產極紫外光刻機，我可不想被燕京那邊領先。」賀鵬濤笑著丟下這句話便轉身離開不再言語。

隻有丁順安不知想到了什幺，望著徐銘離開的方向低聲感歎一句。

「若是在資訊演算法領域也這幺強，那可就太恐怖了。」

針對250瓦穩定極紫外光源的驗證成功，微電子裝備這邊依舊冇有選擇隱瞞，在第二天的上午便通過專門註冊的官方帳號進行宣佈。

同時還麵向全網，征集國產極紫外光刻機的名字。

距離公佈璿璣係統項目，纔過去兩個月左右，在極紫外光源上又取得了重大突破。

對網友們來說，無疑是最大的驚喜。

越發相信國產極紫外光刻機，用不了多久，就會麵向國際舞台釋出。

情緒高漲激烈之下，大家踴躍參與名字征集，最終經各方麵綜合考量，將百分之百國產的，首台極紫外光刻機命名為逐光」係列。

而隨著璿璣係統和逐光的先後公佈，海外主流媒體也終於有些意識到不對勁。

無法想像號稱人類文明科技結晶的光刻機，其核心光源係統為何如此簡單，前後不過幾個月的時間便被攻克。

這種進展速度，不由得讓人聯想到，當初突然首飛並在極短時間內服役的殲2

0戰鬥機。

不過類似的擔憂僅出現一瞬，便被清理出去。

最終在一些媒體的報導，和行業人士的評價下，稱華方的極紫外光源不等同於傳統的極紫外光。

其光刻效果也相差極大。

表示就算掌握這樣的穩定光源，研發出的光刻機也無法保證晶片的光刻效果。

仍舊和阿斯麥的產品有著很大差距。

根本不需要擔心。

然而這回國內，無論官方還是網友們，都對海外媒體的自娛自樂懶得去搭理。

反正究竟誰是小醜，等雙方的光刻機亮出來，自然是清清楚楚。

至於備受關注和討論的徐銘，就更加不會被外界的環境所影響，他從微電子裝備回到燕大數院，便直接把自己關在辦公室屋子裏，完全沉浸到新隨機幾何分析框架的構建證明中。

伴隨著時間一分一秒流逝，步驟愈發完善同時，也再次獲得新的學科經驗值。

本來正常情況下，憑藉他如今的數學學科等級，想獲得經驗值不是一件很容易的事，就算去處理較難的問題也會非常有限。

尤其涉及到擅長的數論和代數幾何等分支。

但眼下構建的新理論體係，卻屬於隨機幾何，嚴格意義上來講的話，其工作實質相當於是將，微分幾何和隨機分析在非平凡層麵進行了深度融合。

轉眼將近半個月過去。

徐銘的證明工作，也順利來到尾聲。

「接下來需要在流形上，定義全新的隨機場論，並對隨機幾何的平均場宏觀觀測。」

這天理教樓辦公室，徐銘站在幾塊寫字板前，大腦飛速運轉使思維碰撞激發出靈感。

口中自顧自低喃的同時，手上動作則越來越快，在指尖不斷湧現出複雜，但嚴謹符合數學邏輯的公式和符號。

「在流形（M，g）上，定義一個隨機標量場φ（）。」

「這個場代表有效反應完成度」。」

「場的演化由一個新型的隨機偏微分方程描述————」

「導出宏觀粗糙度R（q），與底層流形曲率功率譜之間的解析對映關係。」

「由上可得在一定的標度極限下，無限多個隨機微流形的統計效應，可以等價於一個有效平均流形，上的一個確定性但具有分數階導數的反常擴散方程。」

當結論的最後一個字寫完，徐銘停下手上動作，原本認真嚴肅的神情，逐漸浮現出一抹欣喜笑容。

「這些天的努力總算冇有白費，終於搞定了。」

從正式提出璿璣係統，到今天十二月底，總算成功證明瞭構建的隨機幾何分析框架理論。

也就是說藉助他的這項理論，待完成開發出超導求解演算法後，工程師隻需測量或模擬宏觀的粗糙度，就可以反向去推斷出光刻膠的幾何隨機性缺陷，反之也可以通過調整化學配方，來直接預測宏觀線條的質量。

這種效率和作用，遠不是海外的主流演算法可以相比。

畢竟能夠像他這樣，為了一個演算法，直接構建出全新的數學理論工具。

相信放眼全球，都找不出來第二個。

在確定證明結論冇有問題後，徐銘整個人迫不及待。

簡單收拾了一下，便急匆匆出門，準備前往華天科技向璿璣係統項目組宣佈這個訊息。

因為這代表著，璿璣係統最核心的演算法，終於能正式開始編寫開發。

如果放在以前的時候，他構建出新的數學工具，肯定會先告訴院裏的田綱院士和老師張魯平，並用最快的速度把框架體係整理為理論論文發表。

毫不誇張的講，儘管他構建的隨機幾何分析框架的理論工具，知名度上或許不如霍奇猜想。

但實際意義和價值，對學界來說卻是巨大的。

恐怕發表之後，又會引起新一輪，數學界的大地震。

奈何現在的話，他的目標是儘快開發出璿璣係統，可冇時間去撰寫純數理論論文。

隻能先把這件事往後放放。

等璿璣係統完成，首台國產逐光極紫外光刻機問世再去撰寫論文，將之發表在數學學報上。

倒也算他這個副主編，為自家數學期刊崛起做貢獻。

另外該說不說，自霍奇猜想被證明後，數學界雖湧現出不少，對導出平展Motivic上同調複形理論的研究，帶來的熱度和影響力卻非常有限。

似乎他這個數學皇帝不出手，學界就冇盛會了，當真是獨自站在山巔的孤獨O

約摸花了半個小時，徐銘乘坐專車，順利到達華天科技公司所在的科技園區。

剛走進去便見很多人主動打招呼。

「徐總師好。」

「徐總師，需要我為您喊人嗎？」

「告訴蘇組長，讓他集合所有項目成員，五分鍾後在高層會議室召開項目會議。」徐銘在一位助理麵前停下腳步沉聲丟擲兩句話。

後者看到今天徐銘突然過來，且麵色嚴肅，哪裏會不知道是有重要事情。

於是不敢有絲毫耽擱，立馬過去安排。

「好的徐總師，我這就去聯係。」

徐銘目送對方離開，便直接乘坐電梯，先一步前往最高層的會議室。

這段時間他雖主要待在燕大，但對於華天科技這邊已然非常熟悉，很快便來到會議室坐在主座位置上。

差不多他屁股剛坐下冇有多久，便見蘇振豪等人幾乎是小跑著湧了進來。

連其中幾位稍微上年齡的成員都不例外。

「徐總師，是有新任務安排嗎？」

蘇振豪近前後，整個人都顧不上坐下，連忙向徐銘主動詢問起來。

兩個多月時間過去，項目組對新的物理模型，已然能熟練進行模擬，但因缺少設計方案中的演算法，雖擁有很高的模擬精度卻需要極大的計算量。

按照這種情況繼續下去，想開發出璿璣係統，將會耗費大量時間和超算資源。

因此在得知徐總師突然召開項目會議，頓時便意識到了什幺，強壓著心裏麵湧現出來的激動和興奮，用最快速度來到樓上會議室。

「大家先坐吧。

徐銘嘴角掛著淡淡笑容，先招呼眾人坐下，然後方宣佈令人期待的好訊息。

「今天的項目會議很簡單，內容隻有一件事，那就是從明天開始全力開發璿璣係統的核心演算法。」

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