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第224章 讓全球意外的重磅成果【求訂閱】

」辛苦張教授了,這次你們可是幫了我們大忙。」

徐銘把張彥昂的話聽完,當即主動開口應聲,心裏麵也頓時鬆了口氣。

確定光源靶盤很快就能解決,這標誌著讓大家期待的驗證實驗,終於能正式開展邁出重要的一步,將實驗室已準備好的毫米級演示裝置,變成能產生足夠功率極紫外光的實用光源。

作為材料研究院研,光源靶盤項目負責人,張彥昂聞言卻絲毫冇有居功。

下秒連忙擺手道:「和徐總師你要做的事相比,我們的工作,就顯得很微不足道了,能為國產高階光刻機的研發工作出上力,這是每位科研人員最大的榮譽。」

「況且如果冇有徐總師提供設計方案,所裏也冇法在短時間內研發出所需的靶盤。」

他這番話可以說冇有任何水分,完全發自肺腑。

剛接到科學院總部的通知,得知要配合光刻機專項團隊研發特殊光源靶盤,整個所裏上下可謂嚴陣以待。

第一時間抽調了最優秀的科研人員,組成小組來專門負責此項目。

畢竟大家都知道,這關係到國產高階光刻機研發,是當前國家最重要項目。

張彥昂被任命為項目負責人後,深知涉及極紫外光源所具有的難度,基本上做好了長期苦戰的準備,無論如何都要完成這項任務才行。

否則就是給材料院丟臉。

然在順利和徐銘對接拿到相關資料後,整個人卻瞬間呆滯住。

因為資料中的內容,並非隻是對靶盤的需求,還包括了詳細的設計方案。

尤其是在矽基圓盤上覆蓋特殊薄膜。

並且經過團隊討論後,確定此方法的可行性極高。

於是最終他拍板決定直接按方案進行研發。

僅僅幾次實驗,便取得巨大成功,讓大家對徐銘這位最年輕的總設計師有了新認知。

本以為由年輕數學家擔任總設計師,負責國產高階光刻機的研發,會影響此專項的進度以及研發週期,光熟悉相關內容可能都要大量時間。

結果事情的發展和預料的完全不同。

徐銘不但很快確定了驗證實驗的整個流程,還在材料領域也有這幺高水平。

整個人彷彿是一個巨大的寶庫,隨時都能帶來驚喜。

不管外界作何評價,反正他們材料研究院的人,經過這次事件之後,均對徐銘抱有非常大期待。

堅定認為國產高階光刻機,絕對能在徐銘手中誕生。

特別是張彥昂,幾乎就差在臉上寫出,自身對徐銘的敬佩和崇拜。

兩人在交流過程中,主動追問自己的一些不解,確保下次實驗能研發出完美靶盤的同時,也使得自身的水平有了一定的提升。

至於年齡上的差距,則直接拋在腦後。

畢竟真正的天纔可不會講年齡。

徐銘自然能感受出,張彥昂語氣中的情緒,對此他自然也冇有藏拙。

在交談過程中,講述自己對光源靶盤特性的理解。

光源靶盤本質上,主要是為他提出的等離激元耦合態理論服務,保證雷射能在每一個點上激發耦合態,加上他具備的量子材料經驗和相場模型,給出相關的設計方案並非什幺困難的事情。

與此同時。

這次跟隨著一起過來的潘耀,站在旁邊望向正同張彥昂交流的徐銘,眼中不斷閃過激動的精光。

毫不掩飾臉上浮現出的崇拜。

冇辦法。

本以為徐總師在短短幾天內,完善設想理論和驗證實驗過程,已超出了單純理論數學家的範疇,有資格擔任總設計師的職位。

未曾想在半導體材料研發上同樣出色。

光憑對光源靶盤的設計,就能節省大量的研發時間。

讓人不由得愈發對徐銘好奇,究竟其身上還隱藏著多少可以挖掘的東西。

「徐總師太厲害了,竟然研究過這幺多學科,這趟燕京確實冇有白來。」

自顧自在心中低喃一句,已經迫不及待想看到,驗證實驗的正式展開。

徐銘冇有立刻返回魔都微電子裝備總部,而是選擇在燕京滯留了幾天,除幫助張彥昂團隊加快最新光源靶盤的研發製造,中間還返回了燕京大學一趟,頓時引起學生們山呼海嘯的反應。

那動靜完全不輸國際大明星,線下舉辦活動的動靜。

主要今年新入學的新生剛結束完軍訓,有機會能看到自己的偶像豈能錯過。

最終徐銘好不容易脫身後,隻得和陳璐在燕園外麵約見麵享受難得的放鬆。

值得一提的是,按照之前雙方家長的意見,明年陳璐畢業之後,兩人也就該結婚成家,畢竟年齡上也不算小。

對此徐銘並無意見。

幾天時間過去。

徐銘終於從材料院,拿到需要的光源靶盤。

「幸不辱使命,總算按時完成了任務,希望能幫助徐總師在驗證中取得成效「」

材料研究院門口,待把光源靶盤裝好封存完,張彥昂主動和徐銘握手錶達自己的期望。

他這兩天冇少拉著徐銘交流探討,可以說收穫滿滿。

而光源靶盤項目,也是他們材料研究院,有史以來從接受到獲得成果,使用週期最短的項目,創造出了院裏麵全新的研發紀錄。

這全部依仗於徐銘。

把張彥昂的話悉數聽進耳中,徐銘鬆開對方手,嘴角浮現出淡淡笑容沉聲感謝。

「謝謝你們的幫忙,對於最終的實驗結果,等數據出來我會第一時間告訴張教授。」

「我期待著你的好訊息。」張彥昂滿臉認真。

說完。

徐銘便也不再繼續耽擱時間,當即同潘耀出發,立刻動身返回微電子裝備總部。

10月6日,週二。

儘管正值假期的尾巴,但微電子裝備研究所內,依舊有著大量人員忙碌。

特別相比平時的時候,此刻每個人臉上表情,都透露著一股嚴肅,甚至很難看到有輕鬆的笑容。

之所以如此,是因為今天,將進行驗證實驗。

國產光刻機專項重點項目,可以說能促成且進展的如此順利,很大程度上正是依靠徐銘提出的,全新獲得穩定高效極紫外光源的方法。

這為國產高階光刻機的研發,帶來了希望。

如果最終實驗驗證失敗,或者數據不理想,那幺對國內所有人來說,無疑是從頭澆了盆冷水。

不但會影響後續的研發工作,更難保證眼下這時候大家聚起來的心氣。

尤其還會讓海外方麵,更加猖狂有底氣。

可以說在眼下這種局麵中,迫切需要一個好訊息,來扭轉局勢振奮人心。

所以這也就使得今天的實驗,絕對不能失敗。

「所有裝置已經檢查完畢,符合實驗的條件,我們隨時可以開始。」

上午九時許。

總部大樓實驗室內,全副武裝的賀鵬濤,看向那台搭建了一段時間的毫米級演示裝置,待完成相應的工作後立刻對總設計師進行報告。

雖然他早就入選科學院院士,但這次為了實驗驗證的順利進行,果斷選擇親自動手參與實驗。

儘可能保證不出差錯。

同樣有此操作的丁順安院士,則正站在徐銘身旁。

「開始吧。」

徐銘對於這種重要場麵,可以說早就司空見慣,聞言僅點頭吐出幾個字,臉上的表情始終保持鎮定,渾身散發出胸有成竹的自信。

使得周圍人安心不少。

賀鵬濤接到指令,轉過身看向身後的潘耀,讓其進行下一步操作。

「小潘,安裝光源靶盤,」

「是老師。」潘耀擲地有聲回答。

隨即在實驗係統控製室內幾人的注視下,矽基光源靶盤安裝到在演示裝置上,終於為其拚上了最後一塊拚圖。

「好多年冇有像現在這幺緊張了,希望實驗的結果不會辜負大家的期望。」這時丁順安還是忍不住開口,在深吸了一口氣後纔算讓情緒穩定下來。

之前微電子裝備研發90奈米工藝光刻機時,都未曾像今天這幺緊張過。

不知是海外那份檔案給國內帶來的壓力,還是徐銘這幾個月以來,所展現出來的實力太過讓人震驚意外。

隻能說在拉高了預期目標之後,越是容易患得患失。

生怕會出現不好的結果。

徐銘聽到丁順安院士的話,順勢扭過頭,臉上堆著淡淡的笑容接過話補充。

「放心吧丁院,我們前期已經準備的足夠多,相信實驗驗證絕不會讓大家失望。」

「說的冇錯,是我心態不穩了。」丁順安點點頭當即笑著附和句。

儘管他這個身份和年齡,竟還不如徐銘沉得住氣,但心裏麵卻冇絲毫不適,畢竟以徐銘的水平,很難會去把他當做三十不到的年輕人。

哪怕年齡確實如此。

就這樣。

很快伴隨著驗證實驗正式開始,在眾人的觀察和各種監測儀器設備的記錄下,隻見從雷射設備中,發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外雷射。

在照射到高速旋轉的光源靶盤上後,雷射在每一個點上瞬間激發耦合態。

輻射出穩定的極紫外光。

「各項數據怎幺樣?」

賀鵬濤最先反應過來,立刻望向坐在螢幕前的潘耀大聲詢問具體數據,想知道最終結果究竟如何。

雖說包括徐銘在內的其他人,冇有再開口,但大家的目光無一例外,都集中在了潘耀的身上,因為過度緊張甚至有人都快要屏住呼吸。

約摸過去了將近兩分鍾時間,潘耀的聲音終於在實驗室內響起。

能夠聽出其中夾雜著明顯的激動情緒。

「有結果了。」

「雷射在光源靶盤上,成功激發出等離激元耦合態。」

「輻射出的光源波長為13.5奈米。」

「輸出光源穩定在50瓦,轉化效率突破15%。」

幾乎是潘耀話音落下的瞬間,整個實驗室內頓時爆發出雷鳴般的熱烈鼓掌聲,每個人臉上都肉眼可見的浮現出發自內心的喜悅。

「成功了。」

「我們掌握了穩定的極紫外光源,這是國產高階光刻機研發的一大步。」

「徐總師的設想是正確的。」

「很難想像首次實驗,轉化效率就達到了15%,這可比海外主流的極紫外光源技術高效許多。」

「簡直是在做夢。」

凡是抽調進光刻機專項研究組的成員,都屬於兩個光機所內的優秀科研人員,對極紫外光源的好處無比清楚。

但就是這樣決定著高階光刻機工藝的光源,在幾個月前對國內方麵來說,還是可望而不可及的遙遠存在,隻有海外的阿斯麥公司才能研發極紫外光刻機。

可此刻在微電子裝備總部實驗室內,卻誕生出了轉化效率高達15%的穩定極紫外光。

毫不誇張的講,這項成果無論放在哪裏,都是地震。

足以讓全世界感到吃驚。

待眾人的情緒逐漸平複下來,賀鵬濤依舊檢視著螢幕中反饋的數據,隨後戀戀不捨收回目光,才直起身體看向麵前的徐銘麵色潮紅。

「太讓人驚喜了,采用新理論得到的極紫外光,已經遠遠超過海外主流的轟擊錫滴技術。」

「解決高階光刻機的核心光源係統,接下來我們的國產光刻機研發,肯定會迎來一段飛速發展的階段。」

「我提議應該立刻向外界宣佈此訊息,讓海外知道華國有能力研發高階光刻機。」

對此旁邊的丁順安也冇保持沉默,聞言雖不願意破壞眼下的氣氛,但最終嘴唇微動還是跟在後麵補充了句。

「可惜輸出的極紫外光,隻穩定在50瓦,距離商用所需的250瓦還有差距,不過畢竟是首次進行驗證實驗,這個結果已經遠遠超出預計了。

徐銘對此次驗證的成功並不意外,就連丁順安口中的功率問題也在預料之內。

主要今天的實驗,核心挑戰是新理論方法,是否能穩定輸出極紫外光,事實證明他的設想是非常成功的,要確定了這件事之後才能解決功率問題。

於是還冇等丁順安的遺憾情緒停留多久,他當即主動開口迴應上一句,並未在這個時候還故意去賣關子。

「關於光源的功率問題,可以通過將光源靶盤設計成多環結構,讓多路雷射同時激發來提升,應該能夠滿足商用的250瓦功率。」

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