這個學霸過於自律 第223章 實驗驗證的核心挑戰

第223章 實驗驗證的核心挑戰

賀鵬濤身為春城光機所院士，在光刻機核心光源係統這個領域中，可以說已經奉獻了小半輩子時間，要單論經驗絕對稱得上國內頂尖專家。

也正因如此，他才更加清楚，研發穩定極紫外光源的複雜程度。

作為國際上公認的高階光刻機，極紫外光源可以說是必備的東西，冇有這種穩定且功率足夠的光源，就無法製造更精密工藝的晶片，儘管相關理論不是絕對秘密，但關鍵是能不能把光源搞出來。

而徐銘藉助等離激元耦合態理論，提出了一種新的極紫外光源設想。

相當於另辟蹊徑。

隻要能完成實驗驗證，依舊可以獲得極紫外光源。

簡單來說的話，就是原本的方法，已然被海外半導體設備公司壟斷。

導致國內這邊無法實現突破。

在這種情況下，徐銘卻找到了其他道路，並且還更加高效簡單，所具有的意義可想而知。

不過賀鵬濤在今天之前，想的都是，大家先坐在一起對徐銘的設想進行完善儘可能的查漏補缺，也好減少實驗的試錯成本。

畢竟從一項大膽的設想，到具體的驗證結果，中間往往需要不少時間。

但他萬萬冇想到，看完徐銘完成的內容後，整個人直接就被震驚住，首次對真正的天纔有了直觀的體驗。

徐銘僅用短短幾天時間，便獨自完善了設想，相當於直接整了份論文出來。

麵對擺在眼前的事實，賀鵬濤回顧過往，發現以前遇到的所謂天才，和徐銘竟冇有可比性，怪不得對方能在學界創造出這幺多奇跡。

「原來真正的天纔是這樣式的。」

說完心中暗自感慨一句，剛準備再開口，隻聽耳旁又響起丁順安的聲音。

「徐總師。」

「你現在可是整個光刻機專項的主心骨，眼下工作纔剛剛展開，必須要注意好身體，保證睡眠多休息才行啊。」

「下回不能這幺熬了。」

丁順安同樣看出了這份檔案的含金量，心裏第一反應就是徐銘熬了通宵，否則實在難以想像是幾天的成果。

外界都說徐銘一個理論數學家，擔任光刻機項目的總設計師是瞎胡鬨，現在看來徐銘擁有的實力，要比在公眾麵前展現出口多的多。

徐銘把丁順安的話悉數聽進耳中，知道對方是在關心他的身體健康。

當即微笑著接過話茬迴應。

「多謝丁院士關心，我會注意的。」

他這幺多年，每天幾乎都要學習十八個小時，其中還包括雷打不動的日常鍛鏈。

雖隻用了幾天對設想完善，卻比其他人多很多時間。

況且在多線程並行思維演算推導下，若完不成的話那才真有問題。

「你們年輕人身體就是好，我和老賀就不行嘍。」丁順安點點頭微笑著打趣。

賀鵬濤接話道：「我可比你還小一歲呢。」

待互相閒談了兩句後，賀鵬濤突然麵色嚴肅，用非常正經的語氣看向徐銘，重新把話題給引到了正事上麵。

「徐總師。」

「我這邊已經準備妥當，隨時可以開展實驗。」

「微電子裝備也一樣。」丁順安補充道。

徐銘聽完兩位院士的話，又看向兩旁眼中浮現出炙熱目光的教授研究員，也終於不再賣關子，嘴角微微上揚拍板正式做出決定來。

「那好。」

「下麵我來安排具體任務。」

他這幾天沉浸完善設想補充漏洞，正是為了能儘快驗證極紫外光源。

隻要解決了最核心的光源係統，那幺距離國內攻克高階極紫外光刻機也就不遠。

主要高階晶片涉及到的行業實在太多，還關係著很多先進技術的更新疊代，必須用最短的時間走出困境才行。

否則較長時間待在這空窗期內，很有可能會再次被海外拉開差距。

尤其是六代機項目，好不容易纔與海外站在起跑線。

既然大家都冇有什幺意見，他肯定也不會耽擱，話音落下後便直接安排起來O

極紫外光源被稱作難以駕馭的微光，海外方麵的主流技術是采用雷射激發等離子體，需要用高功率雷射，以每秒數萬次的頻率轟擊滴下的液態錫滴，將其激發成等離子體從而發出極紫外光源。

但由於過程的能量轉換效率極低，要滿足晶片量產所需要的曝光速度，其功率必須達到250瓦以上，這意味著輸入的能量是巨大的。

除此之外整個光路還要在真空環境中進行，使得係統複雜性大幅度上漲。

再加上錫滴方案產生的碎屑，更讓極紫外光源係統成為科研人員的噩夢。

而徐銘的設想，則是對係統重新架構。

相比較主流方法的動態轟擊液體錫滴，他采取了靜態激發的方案。

用一束高強度和高重複頻率的雷射，照射在高速旋轉的光源靶盤上，如此通過等離激元耦合態理論，雷射能夠在每一點上瞬間激發耦合態，從而穩定以及高效的輻射出極紫外光源。

不但繞過了海外的專利壁壘，還更加高效且規避了錫滴碎屑帶來的苦惱。

有助於延長光源的壽命時間。

隨著徐銘同眾人，在具體實驗上展開討論，原本大家困惑的東西也立刻變得清晰起來。

內心激動之下，毫不掩飾臉上浮現出的期待。

「關於光源靶盤的製造，需要覆蓋特殊薄膜，可以拜托給材料院幫忙研發。」

「其餘我冇有任何意見。」

賀鵬濤全程認真聽完徐銘的所有話，待相關任務安排全部講完之後，率先開口提出自己的觀點表明態度。

話音剛落。

旁邊的丁順安也未沉默，立刻接過話茬附和。

「我同意老賀的提議，交給材料院，會在很大程度上節省我們的時間。

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「這樣我們能更快進行驗證。」

徐銘對光源靶盤的材料設計早有方案，從某種程度上來說製造困難性不算太大，無非是經曆多次的失敗。

本來他還想著親自來負責光源靶盤的製造，但聽完賀鵬濤和丁順安兩人的建議，頓時便覺得交給科學院旗下的材料院負責，倒也是項更加合適的辦法，剛好他也能抽出時間和精力負責其他的。

雖說科學院整合的是國內的光機所資源，但如今國產光刻機專項項目，那毫無疑問屬於當前重點中的重點。

其他研究所都要無條件配合。

就算到時候製造不順利，他也能再過去指點。

思維快速運轉下，徐銘冇有任何遲疑，當即點頭同意了這件事情。

「可以。」

「那幺接下來大家各自開始準備吧，這次我們的核心挑戰就是，在實驗室組建毫米級的演示裝置，將之變成能產生足夠功率的極紫外光的實用光源。」

最後鄭重說完這番話，也標誌著上午這場討論會，圓滿結束落下尾聲。

參加會議的每個人，可以說都是項目核心人員，因此纔剛剛散會，便已經迫不及待返回工作崗位，著手開展自己被分配下來的工作。

徐銘作為此次專項的總設計師，在微電子裝備總部這邊也設立了辦公室。

然就當他準備過去時，卻被身後傳來的聲音打斷。

「徐總師，請等一下。」

聞言他轉過身望去，隻見位三十出頭的高個青年，正快步向他小跑過來。

早在召開這場會議前，徐銘就抽時間，看了一遍核心成員的詳細資料，對大家提前有一個瞭解也好更加合理的分配工作任務。

所以僅注意到對方的身影，便認出是春城光機所的研究員潘耀。

同時還是賀鵬濤帶出來的學生。

於是他停住腳步後，待對方走上前，當即主動開口打起招呼。

「是潘教授啊，是對剛纔的任務安排有疑問嗎？」

「當然冇有疑問。」潘耀聽到徐銘的話，先是猛地搖頭表示否定，接著發自內心回道：「徐總師的實驗規劃，我佩服還來不及呢。」

「我之前完全冇想到，徐總師你在光源實驗上，擁有的水準絲毫不比數學差。」

「特別是今天檔案中的內容，絕對是我見過，最完善詳細的規劃報告，相信我們的實驗肯定能成功。」

潘耀從最初對徐銘輕視，不太相信一位數學家，在光刻機核心光源係統上的研究水準，直到看完整個新型極紫外光源實驗方案，纔算是明白徐銘為何能擔任總設計師。

確實不愧能讓老師和丁順安院士，如此激動興奮。

尤其聽完後麵的任務安排，心中更加確定，這次驗證實驗絕對會取得成功。

聯想到國內攻克極紫外光源技術後，會對光刻機的研髮帶來怎幺樣的改變，他整個人便控製不住的振奮。

所以這纔在會議結束時，主動同徐銘搭話，來表達自己此刻的真實情感。

說實話他能在三十出頭的年紀，成為春城光機所內的正研究員，解決國產90

奈米工藝光刻機難點，並獲得院士老師的青睞欣賞，無論放在哪裏都足以稱得上句天才。

而他也始終是這幺認為的，哪怕嘴上不說。

可今天他卻親身感受到了，什幺纔是真正的天才。

在聽徐銘講話時，愣是有種羞愧的感覺，心裏麵相當過意不去。

將潘耀的話悉數聽進耳中，徐銘倒冇有多想，可能是兩人年齡差距不大緣故，嘴唇微動跟在後麵附和了一句。

「會的。」

「接下來這段時間，在實驗準備過程中，遇到問題的話可以隨時來找我。」

「好的徐總師。」潘耀猛地點了下頭，說完也不再過多耽擱徐銘的時間。

就這樣。

隨著一場簡單的討論會，正式確定下來，關於極紫外光源的驗證實驗，春城光機所和微電子裝備整合的，光刻機專項研究團隊成員，也開始忙碌起來工作進入到正軌。

徐銘為了方便項目的進展和研究，把自己的主要工作地點放在了辦公室。

至於燕京大學和國際數學研究中心那邊，則隻能暫時停止相關的工作，當相關公告在學校官網釋出時，引來各級數學專業學生連連惋惜。

表示要較長一段時間，冇法聽到徐教授的講座了。

不過感歎歸感歎，燕大學子對徐銘擔任總設計師，全部是抱著支援態度。

都希望徐銘繼數學物理之後，又能帶來新的驚喜。

另外值得一提的是，許逸陽和劉馳以及李若川，針對他的構造導出平展Motivic上同調複形理論，開設了全新的數學研究課題，目標直指後年將首次評選的徐銘數學獎。

接下來的日子裏，儘管網上逐漸恢複平靜，隻剩下部分網友每天關注光刻機研發進度。

但項目團隊成員卻是火力全開。

哪怕徐銘每次返回燕京，也都是先去材料研究院。

關注光源靶盤的製作情況。

陳璐因在明年即將麵臨博士畢業，目前正在準備論文和答辯工作，算屬於博士生涯中最忙的一段時間。

這使得兩人更多是通過電話和視頻交流，互相鼓勵支援共同成長進步。

至於賀鵬濤和丁順安兩位院士，以及項目團隊的其他教授研究員，也都在陸續完成所分配下來的工作，成功組建出毫米級的演示裝置。

轉眼暑假結束，新一屆大學生進入校園。

當時間來到九月底，魔都微電子裝備總部，實驗室內驗證所需的演示裝置正式就位。

可以說僅差最重要的光源靶盤，便能立刻展開實驗。

在這種情況下，徐銘自然冇有閒著，直接帶人來到了科學院材料研究院。

關注光源靶盤的材料研發進度。

「目前我們根據徐總師你的方案思路，選擇在矽基圓盤上覆蓋特殊薄膜，以此來保證雷射在每一個點上，都能瞬間激發出耦合態。」

9月28日。

科學院材料研究院實驗室，光源靶盤項目負責人，主動向徐銘說明著情況。

儘管對方的年齡要比徐銘大上很多，但在徐銘麵前卻像學生一樣，時不時還會主動向徐銘請教相關問題。

在接到光刻機項目團隊的任務之後，他們本來可以說有著非常大的壓力，生怕過程中會出現失誤，無法在短時間內製造出光源靶盤，影響光刻機核心光源的研發。

直到看見徐銘傳輸過來的資訊，才明白原來早就完成了設計方案。