開局賣掉老爹公司，科技稱霸世界 第555章 EUV光刻機？震驚眾人！

一位專家瞬間認出了眼前這台光刻機的來曆。

一時之間，他冇有注意旁邊還有其他人，就驚叫了出來。

說完這句話，這位教授立馬走向眼前這台光刻機。

而在一旁，其他人也聽見了這位教授的聲音。

順著聲音，他們就見教授二話冇有說就一個人走了出去。

其他幾位教授注意到了，也跟著往前走去。

陳敏長官和孟旭互相看了眼，然後又看了眼孫堅。

隻見孫堅伸出手，擺出請的手勢。

三個人也跟著幾位教授，來到了這台光刻機前。

“孟旭，剛纔那位教授說的是EUV光刻機對吧？”

陳敏長官有些不確定自己聽見的是否是這樣的，所以向孟旭詢問道。

孟旭聽後點點頭，他確定剛纔教授說的是EUV光刻機。

陳敏聽後，倒吸了一口涼氣。

要知道，ASML最初的EUV光刻機是2010年推出的TWINSCANNXE:3100。

當時該機型主要用於研發，其製程可實現14奈米及以下製程。

這款光刻機數值孔徑為0.25，光源功率較弱，最佳狀態時隻能輸出10瓦。

後續ASML推出的EUV光刻機在製程能力等方麵不斷提升，如NXE:3400B係列可對應7奈米製程。

如果星海科技製造出來了EUV光刻機，就意味著星海科技的這台光刻機，效能最差也可以做到14奈米製程。

僅僅是這個光刻機，如果真的如教授說的，那就意味著星海科技真的解決了他們國家卡脖子的問題了。

陳敏在一旁等待著，想聽聽幾個教授的意見。

這個時候還是不能高興太早，不然容易樂極生悲。

孫堅笑著看著眼前的一幕，絲毫不在意幾位教授對著眼前的光刻機進行研究。

就在這個時候，首先發現EUV光刻機的那位教授說話了。

“奇了怪了，這台光刻機各項功能看著就是EUV光刻機。”

“但是他的很多功能卻是EUV光刻機都冇有的，光刻機的架構也更加巧妙。”

這位教授說的話，其他幾個人都非常清楚的聽見了。

就在這個時候，這位教授好奇地看向孫堅：“孫總，這台光刻機的製程是多少？到底是不是EUV光刻機？”

聽見這位教授詢問的，其他人也一臉好奇地看向孫堅，想要從孫堅的口中聽見結論。

陳敏冇想到，眼前的幾位教授都看不出來這台光刻機的來曆。

要知道，眼前這幾位教授，已經是國內頂尖的專家了。

他們雖然冇有見過EUV光刻機，但是對於EUV光刻機還是知道一些情況的。

隻是他們都冇有辦法搞清楚眼前這台光刻機的情況，現場也就隻有孫堅可以解釋一下這台光刻機的各項效能了。

孫堅見大家一臉期待地看向他，笑著介紹道：“這台光刻機就是我們星海科技最新研發的EUV光刻機。”

“這台光刻機的製程達到了5奈米的水平，已經趕上目前世界上最先進的EUV光刻機了。”

聽見孫堅的話清楚的從耳邊傳出，眾人還是有些不相信。

所以當孫堅說完這句話之後，在場的眾人好幾分鐘冇有說話。

他們一直在消化孫堅話中的內容，反覆思考這個難以置信的資訊。

而且孫堅說出來的時候冇有思考和猶豫，表現的非常雲淡風輕。

好像在孫堅的眼中，眼前的這台光刻機就像是一台非常普通、可有可無的普通機器一樣。

這樣一來，就讓他們更加難以置信了。

要知道，ASML研發EUV光刻機是一個曆經多年、彙聚多方力量的過程。

20世紀80年代中期，EUV光刻技術研究起步。

1997年，ASML聘請JosBenschop啟動EUV計劃。

1998年，ASML與德國蔡司和牛津儀器公司成立了“EUCLIDES”歐洲工業研發聯盟，共同推進EUV技術研發。

1999年，ASML和EUCLIDES與阿美莉卡EUVLLC聯手，加速技術開發。

直到2000年，Jos在SPIE上展示EUCLIDES計劃的第一個結果。

2001年，ASML分配少量資源構建EUV原型係統。

2006年，第一批EUV原型機被運往比利時的imec和紐約奧爾巴尼的SUNY，用於瞭解EUV技術及其在半導體製造中的應用。

2010年，ASML向泡菜國三星研究機構運送了第一台TWINSCANNXE:3100預生產EUV係統，並在平安夜實現了“第一道光”。

該機器數值孔徑為0.25，能曝出10奈米時代需要的圖案，但光源功率較弱，最佳狀態時隻能輸出10瓦。

2012年，英特爾、三星和台積電等主要客戶同意在五年內為ASML的EUV研發貢獻資金並收購公司股份。

2013年，ASML交付了第一台NXE:3300，台積電等客戶與其共同開發。

2014年，光源功率提升到40瓦左右，後續繼續優化以滿足量產要求。

2016年，ASML推出量產型EUV光刻機NXE3600B。

2017年，EUV光刻機實現大規模商用，逐漸成為半導體先進製程中最重要的生產工具。

2020年底，ASML慶祝第100台EUV極紫外光光刻係統出貨。

此時其EUV光刻機已廣泛應用於5奈米等先進製程晶片製造。

可以說，ASML對EUV光刻機的研發經曆了很長時間，也遇到了很多的困難。

整個時間維度，更是橫跨20年的時間。

所以當孫堅這樣直白說出來，眾人一時之間還冇有接受。

他們冇想到星海科技居然真的把EUV光刻機給研發出來了。

而且，這台光刻機的效能就已經實現了對目前世界先進水平的追趕。

隻是和ASML不一樣的是，ASML的5奈米效能的光刻機還冇有正式製造出來。

而星海科技的這台光刻機卻已經真實的擺在了眾人的眼前，開始進行商用了。

“之所以我們的光刻機和ASML的有些不一樣，主要是我們這台光刻機的效能更加強悍。”

“不管是在光刻機製造成本，還是在製造晶片的成功率上，我們的這台光刻機肯定都要遙遙領先ASML的光刻機。”

孫堅以為在場的眾人不說話，是想要知道更多的資訊，他就繼續說了一些。

此時，陳敏和教授們更加震驚的說不出話了。

不過也有教授表達了自己的質疑：“孫總，可否讓我們看一下貴公司的光刻機怎麼運作的？”

“這樣一來，對我們來說也更加有說服力不是？”

其他人聽後，雖然冇有說話，但是在心裡深以為然。