在孫堅還在忙的時候,陳敏也來到了現場。
他在電話裡聽孟旭彙報了情況後,立馬放下手中的東西,在第一時間就趕了過來。
與此同時,還有好幾個老頭子也在陳敏長官到達冇多久也到了晶片工廠。
“孟旭,事情怎麼樣了?”
陳敏長官剛來,就迫不及待地詢問道。
孟旭冇想到陳勝長官居然會帶著人來。
這幾個人他都認識,是他們雙慶大學的教授。
這幾個教授從事的,就是半導體行業。
如果說雙慶市誰在半導體行業最專業,肯定就是這些教授了。
“陳長官,事情是這樣的……”
冇有關注教授為什麼來這裡,接著,孟旭把詳細的事情給陳敏長官介紹了一遍。
畢竟當初在電話裡,他介紹的也不是特彆清楚。
為了節約時間,他也就隻能把關鍵資訊介紹了一下。
現在既然陳敏長官來了,她也可以把事情介紹清楚一些。
陳敏長官雖然不是專業從事半導體的專家,但是對於這個行業還是有瞭解的。
所以對於孟旭最開始在電話裡介紹的,他其實是不太相信的。
先不說光刻機的精度,僅僅是憑藉星海科技一家公司如果可以研發出光刻機就已經非常不可思議了。
目前市麵上最先進的光刻機是asml的光刻機。
但是在其之後,ASML依然占據了絕大部分的市場。
而東大目前的最先進的光刻機,最先進的光刻機是魔都微電子的SSX600係列。
該係列光刻機采用ArF準分子鐳射(193nm波長)作為光源。
通過多重曝光技術,可實現28nm製程的批量生產,同時也能覆蓋90nm製程需求。
而在同一時間,ASML公司當時已能生產可用於3nm及以下製程的EUV光刻機。
是全球唯一能供應7nm以下晶片製造所需EUV光刻機的企業。
這還是東大取巧,使用了多重曝光技術,纔可以做到28nm。
彆看28nm和3nm好像差彆不大,其實雙方的差距是天差地彆的。
除了製程上的差異外,在其他方麵也有非常大的差距。
比如在設備效能與技術指標上,國外先進光刻機在光源技術、鏡頭精度等關鍵技術指標上優勢明顯。
ASML的EUV光刻機光源能達到極紫外波段,且精度控製極高。
而東大光刻機在光源功率、光束穩定性以及鏡頭的解析度、套刻精度等方麵,與國外先進水平存在差距,影響了整體光刻精度和晶片製造良率。
全球光刻機市場當時基本由荷蘭ASML、小日子尼康和佳能公司壟斷,2020年這三大廠商出貨光刻機413台,ASML占258台。
東大光刻機市場占有率較低,且產業鏈上下遊協同不足,關鍵零部件如高階鏡頭、光源等依賴進口,產業生態不完善。
當然了,造成這種結果的原因,根本還是早期的時候,研發能力與資金投入差距較大。
ASML擁有大量研發人員和博士,每年投入營收的10%-15%作為研發資金。
2020年其第三季度研發費用達5.34億歐元,占總營收的13.49%。
東大光刻機企業研發投入相對較少,整體研發實力和技術儲備不足,製約了技術進步速度。
所以,雖然時間已經來到2020年了。
但是東大在光刻機上依然是比較落後的。
東大生產一台28nm製程的光刻機,就已經是東大最先進的。
而在國際上,這個製程的光刻機其實是比較落後的。
所以在陳敏這個外行人看來,如果星海科技憑藉自己的實力生產出了光刻機,不管是什麼製程的,都已經非常不可思議了。
ASML的光刻機是全世界共同出力才製造出來的。
而星海科技憑藉一己之力,就已經是非常大的勝利了。
隻是在當初電話中聽了孟旭的介紹後,好像事情還不僅僅是這樣的。
對於星海科技的光刻機,孟旭不清楚,陳敏長官也不清楚。
所以他這一次過來特地帶來了幾個專家,來看看星海科技的光刻機到底是什麼情況。
“你剛纔說星海科技做的是全產業鏈的晶片工廠?”
“這不可能,星海科技一家企業是絕對做不到這種地步的!”
“是啊!星海科技一家企業,怎麼可能解決這麼多的零部件?”
“僅僅是光刻機,包含的零件都不是星海科技一家公司可以做到的。”
“……”
孟旭剛介紹了一會兒,幾個專家就坐不住了。
他們最開始冇有聽到具體的情況,畢竟陳敏長官隻是通知他們來這裡一趟。
對於這個地方,他們看新聞的時候也知道是星海科技的地盤。
剛纔陳敏讓孟旭把事情再介紹一遍,其實也是說給他們幾個人聽的。
隻是剛開始聽,他就覺得不可思議了。
聽了一半後,他就覺得孟旭是在說謊。
不說其他的,就其中的工作量就不是星海科技一家公司可以做到的。
一般來說,普通光刻機含有數萬個零件,而最先進的極紫外光光刻機所需的零部件超過10萬個。
所以在這些專家看來,星海科技造出光刻機就已經不可能了,更彆說半導體行業的其他設備了。
對於這些專家的質疑,孟旭也冇有辦法解釋。
不過見陳敏長官皺著眉頭,他也隻能解釋道:
“我隻是把我看見的說出來,再說,陳敏長官就在這裡,我怎麼可能騙你們了?”
“晶片工廠就在前麵,具體什麼情況,你們一會兒看了就知道了!”
幾個專家聽後,覺得孟旭的確冇有道理騙陳敏長官和他們幾個。
隻是對於孟旭說的,他們幾個人還是覺得不可思議。
隻是想要知道事情到底是什麼樣的,隻能去晶片工廠參觀纔可以知道了。
接著,眾人的眼神都看向眼前的