這個學霸過於自律 第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功

第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功

寬敞明亮的機房內，首台逐光極紫外光刻機，被放置在中心位置，是全場毫無疑問的焦點。前方牆上的大螢幕處，最上麵掛著個紅色橫幅。

寫有一行標語。

「預祝全係統首次鏈路功能驗證流片圓滿成功」

而現場除總設計徐銘，賀鵬濤與丁順安兩位院士，和微電子裝備項目科研人員外，還包括華天科技公司，科技部領導以及多位院士專家。今天全部聚集在這裏，隻為共同見證國家高階晶片製造的崛起。

其中很多人，都是項目某環節參與者。

最終的結果如何，對他們來說，稱得上是與有榮焉。

心中都憋著一口氣。

但像科學院院長餘高遠，則完全把自己，放在觀眾的席位上，基本全程保持沉默，很少參與發言。

把本次驗證的主導權，悉數交給總設計師徐銘。

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僅在心中希冀驗證圓滿成功。

當視線重新回到徐銘身上，他已經伸手接過，賀院遞過來的逐光」最新檢測數據，隨即垂下目光神情認真的仔細檢視。

從海外新思公司，與阿斯麥半導體設備，共同發出公告，宣佈將在明年正式推出，全新的極紫外光刻機和配套EDA演算法工具，到現在已過去三個多月時間。

然論他們如何都不會想到，在這短短三個多月內，首台逐光極紫外光刻機，已完成組裝。

將采用全新技術的核心光源係統，和工作件物鏡係統等零部件整合。

這幾天在差不多二十四小時，不停地調試優化下，基本滿足實際流片驗證標準。

在如此情況下，由國家晶片製造產業專項領導小組表決，定下今天開展首次全係統鏈路功能驗證流片實驗。

「冇問題。」徐銘重新把數據檔案遞還過去說。

賀鵬濤接下笑著說：「大家等這一天可是很久了，眼下終於要變成現實。」他講完不知是想到了什麽，臉上顯露出來的情緒，相比剛纔多出幾分傷感。

早在十年前。

國家釋出中長期科學和技術發展規劃綱要，把極大規模整合電路製造技術及成套工藝，排在16個國家重大科技專項首位，真正重視起晶片製造技術，並給予持續和钜額的經費支援。

他便被任命為項目主要負責人，紮根光機所研發國產光刻機。

儘管數年來取得一定成果，但距離海外阿斯麥公司，仍麵臨著巨大技術層麵差距。

當時行業主流觀點是，未來二十年時間，很有可能都無法實現追趕。

從某種程度上講，比戰鬥機更加複雜棘手。

對任何一位光機所人來說，看到國產光刻機崛起，實現自主高階晶片製造，是大家最真摯質樸的夢想。

他賀鵬濤自然也不例外。

而如今因為徐銘，這個尚不到三十歲的青年才俊，國家的極大規模整合製造技術，迎來飛速突破進展。

以往的夢想得以實現，且親眼目睹。

情緒難免會有所宣泄。

這是人之常情。

「你就放心吧老賀，咱們的逐光肯定能經受檢驗。」丁順安聞言，及時接過話茬，成功轉移賀鵬濤的注意力。

作為逐光係列光刻機的研發人員，就相當於是把孩子養大的父母。

自家孩子究竟是個什麽水準，基本是心知肚明。

流片驗證雖尚未開始，但最終結果如何，多少會有一個預期數值。

徐銘依舊保持著冷靜的思維，將賀鵬濤和丁順安兩位的交流，悉數聽進耳中，雖想說些寬慰的話，給他們吃上一顆定心丸，但嘴唇微動下，還是把話給嚥了回去。

逐光極紫外光刻機，和璿璣係統EDA演算法工具，他自然是胸有成竹信心滿滿。

但要知道一件事，流片驗證的數據，可不單靠這兩項左右，其中任何一個環節都能產生影響。

比如較為關鍵的光刻膠。

原本他的打算，是想通過璿璣係統，反向設計適配的高階光刻膠，儘管這會延長流片驗證的日子，卻可以保證良品率。

剛好科學院化學研究所，在國產光刻膠的研究上，取得了新突破。

便索性提前進行流片驗證。

畢竟站在上麵的角度，留給國內的時間確實不多，必須儘最大努力，和阿斯麥同步推出極紫外光刻機，把行業可能會受到的衝擊損失，減低至最小範圍。

於是念頭停留在這裏，他方沉聲吐出一句話。

「開始工作吧，流片驗證的數據如何，很快我們就能知道。」

隨著話音落下，身旁的賀鵬濤和丁順安，也一改剛纔臉上的笑容，神情變得嚴肅認真。

點點頭前往各自的工作區域，指揮科研人員調試。

為流片驗證做最後準備。

伴隨時間一分一秒流逝，機房現場的氛圍，因逐漸瀰漫的緊張感，變得有些窒息。

連餘高遠等場外人員，都彷彿要屏住呼吸。

生怕因為自己發出的動靜，導致今天的流片驗證出現問題。

不知道過去多久，隻聽站在操作檯前的潘耀，突然開口向徐銘進行匯報，總算暫時打破眼下的氛圍。

「報告徐總師，設備已調試完畢，隨時可以進行流片。」

說完。

負責優化璿璣係統的蘇振豪，同樣不再保持沉默，緊跟在潘耀的話後，也停下手上動作，轉過身報告工作進度。

「璿璣係統優化完成。」

聞言徐銘猛地從椅子上站起身。

目光先是依次在潘耀和蘇振豪身上掃過，然後看向賀鵬濤和丁順安，在短暫的眼神交流後，下秒便不再過多耽擱時間，立即下達了最重要的指令。

「開始吧。」

「是徐總設計師。」潘耀和蘇振豪幾乎同時迴應。

緊接著所有科研人員，再次投入到緊張的工作狀態，神情保持著高度專注。

此次流片驗證采用的測試晶片，是一顆不包含複雜功能的專用測試晶片，其版圖由璿璣係統軟體生成。

包括解析度測試圖案，套刻精度標誌，電性測試機構，和特殊監測圖形等。

不多時。

在超淨間外，徐銘和科研團隊，通過觀察窗，看著第一片矽片被送入珠光極紫外光刻機，整個氣氛莊重而充滿期待。

當全係統鏈路功能驗證流片流程開始啟動，嚴格按照璿璣輸出的工藝檔和珠光的標準參數執行，而這個過程也需要一定的時間，需在晶圓片完成製造後，進行光學量測和電子顯微鏡檢測。

或許是看到氛圍太過嚴肅，這個時候一直冇發言的餘高遠，終於捨得主動開口。

「真讓人驚心動魄啊，不知道有多久，冇經曆過這種心情了。」

說這句話時，故作輕鬆的語氣，和臉上堆出的微笑，為大家的情緒增添一些不同的波動。

「大家的壓力確實不小。」賀鵬濤點點頭附和句。

前腳話音剛落，身旁科學院化學研究所的周啟深院士，也接過話茬道：「國家有徐總師這樣的天才，我相信逐光極紫外光刻機，肯定能光刻出良好的各層圖案。」

他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲，在光酸劑與樹脂等分子設計，以及合成與作用機理等研究領域，位於國內領先地位。

對國家化學材料的發展，做出過重要貢獻。

此次整合國內資源，成立國家整合電路製造研發創新中心，他所在化學研究所，也被納入整合範圍。

負責國產高階光刻膠的研發工作。

其中值得一提的是，徐銘擅長數學物理甚至資訊學科，憑藉自身實力和天賦，帶領光刻機和晶片設計軟體，快速實現技術疊代。

以至於經常能在網上看到，又有新的進展新聞。

這對他們光刻膠項目組團隊來講，無疑有著巨大的壓力。

隻能依靠自身。

儘最大努力，保證國產高階光刻膠的研發，做到不拖其他項目部門的後腿。

畢竟大家所在工作屬於一個整體，任何人掉隊都不行。

幸好他們的運氣還算不錯，在首台逐光極紫外光刻機組裝完前夕，成功合成一種效果更好的光刻膠。

遠超過當前國內的光刻膠水平。

而正當他思維快速運轉，腦海中一直想著流片結果時，耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。

「我們要看的，不是能不能做出圖形，而是現實與預測的偏差，究竟有多少原子。」徐銘看向周啟深院士，神情很是認真的接話，他對流片數據的要求，遠比現場人要高。

如果說其他人的目標，是晶片製造技術，追趕上阿斯麥設備的產品。

那麽他則是要超過。

況且在付出這麽多努力和心血後，想達成這一點，也並非是什麽不可能做到的事。

餘高遠對徐銘的瞭解，無疑要比現場任何人都深。

他在聽到這句話，當即應和道：「有你的這句話，我對流片結果可是更加期待了，看來又要給我驚喜。」

眾人之間的交流並未持續多久，很快就又被流片過程吸引。

目睹百分之百國產化，正在運行的逐光極紫外光刻機，團隊士氣越發高昂。

由於整個流片過程，包括光刻和刻蝕，以及沉積等數十道工序，且被嚴密監控，因此往往要曆時數週時間才能結束。

麵對這種情況，大家毅然留在微電子裝備。

都想第一時間看到流片數據，也好見證國內晶片製造曆時上，真正裏程碑時刻。

很快來到月底。

高考結束分數陸續出爐，準大學生開始填寫誌願，選擇自己心儀的高校專業。

如果這時候去參加，各地舉行的招生活動，則會發現燕大所在展台位置，基本上一個學生和家長都冇有，但偏偏被旁邊的箐華等，學校招生老師羨慕的不行。

冇辦法。

正所謂樹的影，人的名。

在徐銘這張金字招牌下，燕大已然成為，全國最頂尖的高校。

徹底把箐華甩在後麵。

甚至放眼國際，燕大也的地位排名，也在以肉眼可見的速度，每年持續上漲。

特別是有著瘋人院」美稱的數院。

有這些因素在，能夠上燕大的學生，根本不會糾結猶豫。

自然用不著參加這種活動。

放前幾年的時候，徐銘偶爾還會幫忙為學校招生宣傳，畢竟在他那一大堆頭銜中，最開始的可是燕大數院教授。

不過今年肯定是冇有這個時間。

6月27日，週二，微電子裝備集團總部。

今天光學測量實驗室內，要比以往任何時候都要熱鬨，尤其人員上更是打破記錄。

因為在外麵房間內，愣是聚集了大十幾個身影。

且有將近一半，都為院士。

目前用於流片的晶圓片已完成製造，被送入了光學測量實驗室，進行關鍵的光學測量和電子顯微鏡檢測，這能夠得到詳細的流片數據，以及晶片良品率。

眾人眼下待在這裏，正是想第一時間知道結果。

明明麵積不大的房間內，大家幾乎緊挨著坐下，卻愣是安靜的很。

紛紛保持著沉默。

誰都冇有率先開口打破僵局。

顯然心情都很緊張。

直到房間門外突然響起一陣敲門聲，瞬間讓眾人同時抬起視線望去，心臟彷彿都跳快了不少。

平時一向穩重的院長餘高遠，更是首先脫口喊話。

「進來。」

穿著實驗服的科研人員推門進來，手中拿著份嶄新出爐的報告，腳步纔剛邁進房間，便迫不及待開口匯報。

「徐總師，各位院士領導。」

「晶圓片的光學測量數據結果出來了————」

「直接講吧。」徐銘聞言立刻出聲，把對方的話給打斷。

而這個時候，那位科員人員也冇有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。

「根據測量結果顯示，逐光解析度完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。」

當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸著的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。

標誌著國內終於擁有了，百分之百國產化的，高階極紫外光刻機。

不過大家並冇有在這個時候鼓掌慶祝，反倒是強壓住心中激動，繼續聽後麵的其他流片數據項目結果。

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